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熱式氣體質(zhì)量流量計測量原理
 
　　 熱式氣體質(zhì)量流量計/流量開關(guān)，是基于熱擴散原理的流量儀表。即是利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。具體來說，熱式氣體質(zhì)量流量計的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，流體流過時，兩者之間的溫度差與流量的大小成非線性關(guān)系，該儀表就可以把這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。
　　利用熱擴散原理制造的流量計有兩種設(shè)計方法：一是：基于恒溫差原理；二是基于恒功率原理。基于共同的數(shù)據(jù)模型： P/△T=A+B（Q） N ---1。這里：P---耗散功率，△T---兩個傳感器之間的溫差，A、B是與氣體的熱性能有關(guān)的系數(shù)。
　　恒溫差原理：△ T保持不變，耗散功率P與流體的流量Q成指數(shù)函數(shù)遞增的關(guān)系。
　　恒功率原理：耗散功率不變，溫度差△ T與流體的流量Q成指數(shù)函數(shù)遞減的關(guān)系。
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